1、按照PLC程序抽低真空：緊閉所有的真空閥門，啟動機械泵，待其運行正常后（大約1-2 min），打開通向爐體的低真空閥即上碟閥，預(yù)先對爐體抽低真空；

 2、按照PLC程序抽高真空：打開下碟閥，對擴散泵進(jìn)行抽氣，當(dāng)真空度達(dá)到15 Pa以下后，系統(tǒng)自動開啟擴散泵進(jìn)行預(yù)熱，一般經(jīng)過45 min左右擴散泵開始其作用，就可以關(guān)閉上碟閥，同時開啟主阻擋閥待真空度達(dá)到1.33×10Pa以上，才可以開啟加熱按鈕對樣品進(jìn)行加熱。  

 珠海真空熱處理真空爐保養(yǎng)可指導(dǎo)設(shè)備操作員在職責(zé)范圍內(nèi)對設(shè)備各點檢部位,用正確的檢驗方法和工具依據(jù)點檢周期進(jìn)行設(shè)備的日常保養(yǎng)；操作員需每日依據(jù)此保養(yǎng)說明書認(rèn)真填寫《珠海真空熱處理設(shè)備日常維護(hù)保養(yǎng)記錄》，并由班組長檢查復(fù)核，維修員收集存檔。全套設(shè)備按技術(shù)要求安裝完畢后，無缺件并有良好的接地時，即可按下列項目進(jìn)行調(diào)試與驗收。